１．インライン式測定装置　MX15ｘシリーズ

MX 15Xシリーズは太陽光モジュール（PV）用ウエハ向けのインライン式測定装置です。
ウエハ厚み、抵抗値、P/Nの測定が高分解能で可能です。

• ベルト搬送中に3回の厚さスキャンを異なるウェーハサイズに対して可能にするために、2本の測定バー（上から1本、下から1本）にそれぞれ3つのセンサーを搭載しています。
• 各静電容量式センサの前と後ろには光バリアがあり、両方が覆われている場合にのみセンサの測定値を確認することができます。
  これにより、異なるウェーハ形状や位置ずれがあっても、安全な測定が可能になります。
• シンプルなTCP/IPベースのプロトコルを使用して、測定値を通信したり、測定の待機/解除を行うことができます。
• 測定周波数は1000Hzです。測定周波数と搬送ベルトの速度から、ウェハ上の測定ポイント数を簡単に計算することができます。
  ※ウェハ間隔は少なくとも30mm以上必要になります。

２．オフライン式測定装置　（MX203～MX608）

太陽光ウエハ向け
MX 203-6-41-q	□100㎜, □125㎜, □156㎜	測定内容：厚み, TTV, Bow, Warp 厚み範囲：　160μm～700μm 測定精度：1㎛ 分解能：0.1㎛ ソフトウェア：MXNT ※Warp と Bow-bfには重力補正は含まれません。
MX 204-8-25-q	□125㎜, □156㎜	測定内容：厚み, TTV, Bow, Warp 厚み範囲：　200μm～700μm 測定精度：1㎛ 分解能：0.1㎛ ソフトウェア：MXNT ※Warp と Bow-bfには重力補正は含まれません。
MX 204-8-49-q	□125㎜, □156㎜	測定内容：厚み, TTV, Bow, Warp 厚み範囲：　100μm～600μm 測定精度：1㎛ 分解能：0.1㎛ ソフトウェア：MXNT ※Warp と Bow-bfには重力補正は含まれません。
MX608-q	□125㎜, □156㎜	測定項目：厚み, TTV, 抵抗値 ９０℃スキャン測定可能 測定点数：１～５７点 厚み範囲：150～350µm 測定精度：±0.1µm 分解能：10nm 抵抗範囲： 0.001 ～ 50 Ohm*cm