E+H社は1968年に設立された、静電容量センサーの製造メーカーで、現在はその静電容量センサー技術を生かし、半導体・太陽電池業界の生産管理、研究開発向け検査装置を製造販売しております。
ウエハサイズ450㎜まで対応する、Siを初めとする半導体素材用のウエハ測定装置（非接触・非破壊）に加え、ウエハの自動搬送を加えた量産用装置も提供しております。

半導体業界での長年にわたる経験と実績により信頼性の高い測定装置をご提供致します。

ウエハ検査機

E+H社が提供する半導体ウエハの各種測定装置（マニュアル搬送）です。
研究開発、生産ラインの抜き取り検査等で御利用頂けます。
自動搬送装置と組み合わせる事で自動検査機としてもご利用頂けます。

装置早見表

MXシリーズ	厚み	平坦度（TTV）	Bow/Warp	Geometry	抵抗/シート抵抗	P/N	うねり	粗さ
MX　１０ｘ			-	-	-	-	-	-
MX １５ｘ （PVウエハ用）		-	-	-			-	-
MX　２０ｘ					-	-	-	-
MX　３０ｘ		-	-	-	-	-	-	-
MX　６０ｘ	（1）	-	-	-		（2）	-	-
MX　７０ｘ		-		-	-	-

※ （1）= 部分的に対応　（２）＝オプション